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LMG2A
产品名称: LMG2A
产品类型: 线性马达系统
产品特性: 最大行程4m x 4m 以线性滑轨或空气轴承架构之定位平台良好接地设计防止杂讯干扰 Z向震动可达奈米等級以下最大速度可达5m/s 标准重現精度1um或以下位置回馈系统解析度最低可达50nm
产品说明: