产品名称: | LMG2A |
产品类型: | 线性马达系统 |
产品特性: | 最大行程4m x 4m 以线性滑轨或空气轴承架构之定位平台良好接地设计防止杂讯干扰 Z向震动可达奈米等級以下最大速度可达5m/s 标准重現精度1um或以下位置回馈系统解析度最低可达50nm |
产品说明: |
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